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1972年中国就研制出了光刻机,那时光刻机巨头荷兰ASML还没诞生

作者:旅游摄影玩家 发布时间:2020-05-19 02:05:47 来源:民族复兴网 字体:   |    |  

  1972年中国就研制出了光刻机,那时光刻机巨头荷兰ASML还没诞生,项目在80年代却被迫终止。

  光刻机为什么无法“复刻”?物镜系统唯有卡尔蔡司才能搞定?荷兰ASML公司到底卖不卖产品给我们?

  我国60年代就曾布局过光刻机且技术先进,那时光刻机巨头ASML还没诞生,直到70年代,ASML仍是小字辈。

  1972年,武汉无线电元件三厂编写的《光刻掩模版的制造》,32开66页。中国芯片光刻工艺研究起步,虽比美国稍晚,但跟日本差不多同时起步,比韩国、台湾早10年。

  1965年中国科学院研制出65型接触式光刻机。1970年代,中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩模工艺。清华大学研制第四代分步式投影光刻机,并在1980年获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。

  但是很可惜,中国在1980年代放弃电子工业,诸如光刻机等科技计划被迫下马,导致20年技术积累,全部付诸东流。1994年武汉无线电元件三厂破产改制,卖副食品去了。

  以经济效益为中心,强迫各科研院所自负盈亏,造就了搞原子弹不如卖茶叶蛋的一个难堪时段。大量的战略技术项目被迫下马。如今看来,教训惨痛!

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